大族激光省工(gōng)业超短脉冲激光技(jì )术企业重点实验室获“良好”评级

作(zuò)者：大族激光发布时间：2022/12/16

近日，广东省工(gōng)业超短脉冲激光技(jì )术企业重点实验室在广东省科(kē)技(jì )厅组织的2022年考核评估过程中(zhōng)获得“良好”评级，将再次得到资助。

广东省工(gōng)业超短脉冲激光技(jì )术企业重点实验室于2018年9月获批成立，依托大族激光科(kē)技(jì )产(chǎn)业集团股份有(yǒu)限公(gōng)司（简称大族激光）联合暨南大学(xué)、华南师范大学(xué)进行建设管理(lǐ)，地址位于深圳市宝安(ān)区(qū)大族激光全球智造中(zhōng)心，面积超过6000平方米。

实验室由大族激光首席技(jì )术官吕启涛博士担任主任，专家委员会由3位院士与7位专家教授组成，专职研发人员超过40人。

实验室围绕工(gōng)业超短脉冲激光核心器件的技(jì )术突破、超短脉冲激光与物(wù)质(zhì)的相互作(zuò)用(yòng)工(gōng)艺、基于自主研发超短脉冲激光器的激光装(zhuāng)备等方向开展前沿技(jì )术研究与工(gōng)业应用(yòng)开发。实验室的建设瞄准国(guó)际超短脉冲激光一流技(jì )术，面向精(jīng)密制造经济主战场、弥补科(kē)研院校在工(gōng)程化及应用(yòng)方面的短板，在高端制造技(jì )术领域破解美西方对核心技(jì )术的限制。

依托实验室建设，在超快激光晶体(tǐ)、工(gōng)业级超快激光器智能(néng)控制系统等关键自研器件，光纤皮秒(miǎo)种子源等自制核心模块，百瓦级工(gōng)业全固态红外皮秒(miǎo)激光器、高功率固体(tǐ)紫外皮秒(miǎo)激光器、高功率红外飞秒(miǎo)激光器等超短脉冲激光器方面成果丰硕。

实验室开发的超短脉冲激光种子源，平均功率＞50mW，光谱宽度＜0.5nm，脉冲宽度＜10ps，具(jù)有(yǒu)超高稳定性。暨南大学(xué)团队针对全固态超短脉冲激光器晶体(tǐ)展开研究，并取得突破性进展，团队利用(yòng)提拉法自主制备的高品质(zhì)Yb：GYAP晶体(tǐ)，其发射光谱远(yuǎn)宽于商(shāng)用(yòng)Yb：YAG晶体(tǐ)，同时其导热性能(néng)优于常用(yòng)超快激光晶体(tǐ)Yb：CGY，实现宽光谱发射和高导热性能(néng)兼顾，成功应用(yòng)于激光锁模系统中(zhōng)。目前已经实现32fs(328mW)、38fs(763mW)、51fs(1720mW)和72fs(2070mW)超短脉冲激光输出。

大族激光团队研制的5-50W全光纤超快激光器、10-100W光纤+固体(tǐ)放大超快激光器性能(néng)优异，均已实现量产(chǎn)。高功率碟片超快激光器实现50-200W的激光输出。团队开发的红外皮秒(miǎo)激光器实现300瓦功率输出。攻克了制造工(gōng)艺和工(gōng)程技(jì )术难题，将紫外波长(cháng)转化效率提高到35%以上，非线(xiàn)性晶体(tǐ)单点寿命突破10000小(xiǎo)时，355nm紫外激光最大激光输出功率达105 W（8 ps）。经过专家技(jì )术鉴定，该紫外皮秒(miǎo)激光器及装(zhuāng)备“整体(tǐ)达到国(guó)际先进，部分(fēn)国(guó)际领先水平”。市场表现上，5W-100W工(gōng)业级皮秒(miǎo)激光器已经实现进口替代、累计销售额超过12亿元。

暨南大学(xué)团队自主生长(cháng)的5.65 at.% Yb：GYAP激光晶体(tǐ)

实验室面向产(chǎn)业应用(yòng)需求，立足前沿技(jì )术，实现从实验室到市场应用(yòng)的一站式服务(wù)。针对超短脉冲激光与物(wù)质(zhì)的相互作(zuò)用(yòng)机理(lǐ)，华南师范大学(xué)团队系统开展了飞秒(miǎo)激光对不锈钢等金属材料烧蚀特性研究，实现钛合金表面超亲水性能(néng)的微纳结构构建。相关技(jì )术在实验室的“产(chǎn)学(xué)研用(yòng)”体(tǐ)系下得到市场验证。大族激光团队面向5G通讯、晶圆加工(gōng)、医(yī)疗器械、3C电(diàn)子等行业应用(yòng)，对超短脉冲激光对玻璃、陶瓷、蓝宝石等硬脆性材料的加工(gōng)工(gōng)艺进行了重点研究，以超短脉冲激光“更快的刀(dāo)、更准的尺”为(wèi)抓手，开发出超快激光玻璃切割机、紫外皮秒(miǎo)晶圆切割机、高精(jīng)度大幅面绿光皮秒(miǎo)激光微加工(gōng)系统、全自动多(duō)头分(fēn)光高精(jīng)度蓝宝石镀层超快激光去除系统、多(duō)脉宽合束激光多(duō)层脆硬材料标记系统等多(duō)套激光加工(gōng)装(zhuāng)备，实现规模化生产(chǎn)。

依托实验室建设，团队获得“广东省科(kē)技(jì )进步奖一等奖”2项、“广东省科(kē)技(jì )进步二等奖”1项、中(zhōng)国(guó)光学(xué)学(xué)会“中(zhōng)国(guó)光学(xué)科(kē)技(jì )奖一等奖”2项、中(zhōng)国(guó)有(yǒu)色金属学(xué)会“工(gōng)业科(kē)学(xué)技(jì )术二等奖”1项，申请（授权）各类专利超过20项。团队牵头（参与）承担国(guó)家级研发计划2项、省重点领域研发计划项目2项、市级技(jì )术攻关重点项目等3项、参与制定团体(tǐ)标准1项。

本实验室的建设推动了相关行业的技(jì )术革新(xīn)，并带动上下游产(chǎn)业发展。实验室将继续秉承“基础器件技(jì )术领先，行业装(zhuāng)备深耕应用(yòng)”的发展战略，强化基础研究、突破核心技(jì )术，为(wèi)广东省高端装(zhuāng)备制造业转型升级助力，促进经济高质(zhì)量发展，推动中(zhōng)国(guó)新(xīn)型工(gōng)业化建设，为(wèi)实现制造强国(guó)战略贡献力量。

分(fēn)享：