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HDZ-9220

HDZ-9220

产(chǎn)品特点 1、应用(yòng)于半导体(tǐ)晶圆ID标记，兼容6、8吋晶圆产(chǎn)品；
2、适用(yòng)于Si/GaAs/SiC等常见的晶圆材料；
3、全自动作(zuò)业，配备FFU过滤模块；
4、配备双臂机械手，可(kě)选配SMIF上料模块；
5、遵循SEMI标准，支持SECS/GEM通讯协议。

产(chǎn)品应用(yòng)

应用(yòng)领域：

主要应用(yòng)于Si、GaAs、SiC、EMC、Solder mask等常12吋以下晶圆材料的ID标记。


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