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激光剥离机

激光剥离机

产(chǎn)品特点 1、线(xiàn)形光斑的激光整形技(jì )术，实现在不同尺寸加工(gōng)样品上的剥离操作(zuò) ；
2、气浮式的工(gōng)作(zuò)台实现无接触无摩擦的加工(gōng)形式，避免产(chǎn)生粉尘颗粒，保证装(zhuāng)备内部的洁净度；
3、高精(jīng)度、大尺寸、双工(gōng)位的stage设计，可(kě)有(yǒu)效提高生产(chǎn)效率 ；
4、panel载台吸附设计。激光设备的物(wù)料载台的真空吸附部分(fēn)，采用(yòng)了分(fēn)区(qū)域加时间延迟的设计，先吸附中(zhōng)间部分(fēn)，再逐次往外围吸附，保证带柔性膜的panel可(kě)以无皱褶高效吸附。

产(chǎn)品应用(yòng)

应用(yòng)范围：柔性显示屏激光剥离。

产(chǎn)品参数

主要参数加工(gōng)尺寸1"-8"
加工(gōng)速度180mm/s
加工(gōng)精(jīng)度0.1μm
平台参数1）移动精(jīng)度
X 轴： 0.1μm
Y 轴： 0.1μm
Z 轴： 1μm
Theta 轴： 0.2°
2）定位精(jīng)度
X 轴： ≤±4μm
Y 轴： ≤±4μm
Z 轴： ≤±5μm
Theta 轴： 0.1°
激光器参数1）激光器波长(cháng)： 308nm
2）激光能(néng)量： ≥600W
3）激光脉冲功率： 1000mJ
4）总频率： 600 Hz
5）脉冲宽度： 24±4ns
6）脉冲稳定性： ≤1%
工(gōng)艺方式DPSS激光剥离
制程类型激光剥离
Tact time1":4.5s
8":6s
稼动率0.9


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