大族激光荣获2023年度国(guó)家科(kē)学(xué)技(jì )术进步奖二等奖

作(zuò)者：大族激光发布时间：2024/06/25

6月24日，全国(guó)科(kē)技(jì )大会、国(guó)家科(kē)学(xué)技(jì )术奖励大会、两院院士大会在京召开，2023年度国(guó)家科(kē)学(xué)技(jì )术奖揭晓，共评选出250个项目。其中(zhōng)，大族激光联合广东工(gōng)业大学(xué)等完成的“面向高性能(néng)芯片的高密度互连封装(zhuāng)制造关键技(jì )术及装(zhuāng)备”荣获国(guó)家科(kē)技(jì )进步奖二等奖。

“面向高性能(néng)芯片的高密度互连封装(zhuāng)制造关键技(jì )术及装(zhuāng)备”项目由广东省提名(míng)，是大族激光与广东工(gōng)业大学(xué)、广东佛智芯微电(diàn)子技(jì )术研究有(yǒu)限公(gōng)司、安(ān)捷利美维电(diàn)子(厦门)有(yǒu)限责任公(gōng)司等单位长(cháng)期合作(zuò)取得的研究成果。

· 关于项目

后摩尔时代，以芯片高密度互连为(wèi)特征的先进封装(zhuāng)技(jì )术延续摩尔定律，并成为(wèi)行业技(jì )术进步与竞争的新(xīn)赛道。面向高性能(néng)芯片的高密度互连封装(zhuāng)制造技(jì )术成为(wèi)行业国(guó)际技(jì )术竞争焦点。

电(diàn)子制造产(chǎn)业高质(zhì)量发展事关国(guó)家经济安(ān)全与国(guó)防安(ān)全。大族激光与广东工(gōng)业大学(xué)陈新(xīn)教授团队等长(cháng)期深入产(chǎn)学(xué)研合作(zuò)，突破半导体(tǐ)激光精(jīng)细加工(gōng)技(jì )术与装(zhuāng)备多(duō)项关键技(jì )术，形成行业领先优势，成果获得国(guó)内国(guó)际一流龙头企业的严格认证与批量采购(gòu)。

该项目有(yǒu)力推动高性能(néng)芯片高密度互连封装(zhuāng)制造关键技(jì )术及装(zhuāng)备的自主可(kě)控，服务(wù)企业千余家，为(wèi)我国(guó)电(diàn)子制造产(chǎn)业高速发展做出了突出贡献。

此前，“面向高性能(néng)芯片的高密度互连封装(zhuāng)制造关键技(jì )术及装(zhuāng)备”项目暨“电(diàn)子器件高密度封装(zhuāng)的微细阵列制造关键技(jì )术与装(zhuāng)备”项目入选2023年度广东省科(kē)学(xué)技(jì )术奖技(jì )术发明奖一等奖公(gōng)示名(míng)单。

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科(kē)技(jì )奖励是我国(guó)长(cháng)期坚持的激励科(kē)技(jì )创新(xīn)的重要基础制度，是我们党“尊重劳动、尊重知识、尊重人才、尊重创造”方针的具(jù)体(tǐ)体(tǐ)现。2023年度国(guó)家科(kē)学(xué)技(jì )术奖共评选出国(guó)家最高科(kē)学(xué)技(jì )术奖2人，国(guó)家自然科(kē)学(xué)奖49项，国(guó)家技(jì )术发明奖62项，国(guó)家科(kē)学(xué)技(jì )术进步奖139项，中(zhōng)华人民(mín)共和国(guó)国(guó)际科(kē)学(xué)技(jì )术合作(zuò)奖10人。

公(gōng)司在集成电(diàn)路领域提供全制程一体(tǐ)化解决方案，致力推动中(zhōng)国(guó)“芯”征程。大族激光旗下全资子公(gōng)司深圳市大族半导体(tǐ)装(zhuāng)备科(kē)技(jì )有(yǒu)限公(gōng)司凭借卓越的技(jì )术创新(xīn)及综合实力，曾摘得2022年度“广东省科(kē)技(jì )进步奖”一等奖及“深圳市科(kē)技(jì )进步奖”二等奖。近年来，大族半导体(tǐ)不断探索新(xīn)型科(kē)研形式，先后推出涂胶显影、清洗、湿法刻蚀、剥离去胶等设备；突破封锁，推出大族激光首台Film Cut (OLED EAC制程设备)及国(guó)内首台高真空激光设备Laser Driling（OLED蒸镀段制程设备）等。

国(guó)家科(kē)学(xué)技(jì )术进步奖是国(guó)务(wù)院设立的国(guó)家科(kē)学(xué)技(jì )术奖5大奖项之一。此次获奖是对公(gōng)司技(jì )术创新(xīn)、产(chǎn)学(xué)研技(jì )术成果落地、高新(xīn)技(jì )术产(chǎn)业化，以及校企合作(zuò)多(duō)元化、深入化等的高度认可(kě)，大族激光将继续积极打造产(chǎn)业链、创新(xīn)链、人才链等相互融合的创新(xīn)生态，激发产(chǎn)业活力和发展动能(néng)，全力打造在全省、全国(guó)具(jù)有(yǒu)影响力的创新(xīn)高地。

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