股票代码

002008
大族激光官网 语言 大族激光官网
CN EN
大族激光官网
大族激光官网
[→] 立即咨询
大族激光官网
热门关键词：
脉冲激光器 | 高功率激光切割机 | 光纤激光打标机 | 激光焊接机 | 激光切割机 | 激光打标机 | 紫外激光打标机 | 焊接激光器
您可(kě)能(néng)在寻找 ..
关于大族 大族激光官网
集团成员 研发创新(xīn) 发展历程 全球布局 可(kě)持续发展 加入我们
产(chǎn)品中(zhōng)心 大族激光官网
激光打标 激光切割 激光焊接 光纤及泵浦源 激光器
运动控制及元器件 专用(yòng)设备
解决方案 大族激光官网
新(xīn)能(néng)源锂电(diàn) 光伏太阳能(néng) 显示与半导体(tǐ) PCB行业 电(diàn)子信息行业
机械五金行业 家电(diàn)厨卫行业 钣金加工(gōng)行业 包装(zhuāng)行业 交通物(wù)流 纺织与饰品行业
汽车(chē)制造
关注大族：
大族激光官网
大族激光官网
大族激光官网
大族激光官网
大族激光官网
客服热线(xiàn)：
400-666-4000
[→] 立即咨询
关闭 [x]
SiC激光退火设备

SiC激光退火设备

产(chǎn)品特点 1.整机模块化设计与集成，兼容4、6、8英寸薄片晶圆；
2.集成自研成熟先进激光整形技(jì )术，光斑能(néng)量高度均匀、稳定；
3.退火后表面均匀、平整，优秀的电(diàn)学(xué)特性及表面形貌特征表现；
4.严格控制腔体(tǐ)含氧量，有(yǒu)效控制表面碳析出量和分(fēn)布；
5.配置监控与补偿系统，监测光学(xué)能(néng)量稳定性和非退火面温度；
6.配备EFEM传输系统，整机符合SEMI标准，支持SECS-GEM通信。
了解更多(duō)

产(chǎn)品应用(yòng)

适用(yòng)于对重掺杂碳化硅（SiC）表面沉积的过渡金属进行退火，形成良好的欧姆接触。


  • 大族激光官网
  • 大族激光官网
  • 大族激光官网
展开更多(duō) +

产(chǎn)品参数

可(kě)加工(gōng)品圆尺寸
4inch、6inch、8inch
薄片退火支持
光斑整形平顶光
光斑均匀性>95%
能(néng)量稳定性≤1%
比电(diàn)阻接触率≤5×10^(-5)Ω.cm²
表面温度Amnealedgurtece>1500℃.NOn=ann日ledsurlaco<100℃
腔体(tǐ)含氧量N2/Ar： 99.99%，<100ppm@25s
运动平台精(jīng)度

直线(xiàn)度：±1μm

重复定位精(jīng)度：±1μm

品圆传输

Automatic transferring

(compatible to wafer or wafer/w carrier)


返回上一级，查看更多(duō)
[图标] 联系我们
服务(wù)热线(xiàn)
服务(wù)热线(xiàn):
400-666-4000
在线(xiàn)沟通
在线(xiàn)沟通:
立即咨询
查看更多(duō)联系、反馈方式
[↑]
打样申请/技(jì )术支持
[x]
*
*
*
咨询产(chǎn)品
验证码
标有(yǒu) * 的字段为(wèi)必填，收到后我们将在2个工(gōng)作(zuò)日与您联系
申请打样
[x]
*
*
*
*
*
[→] 下一步
标有(yǒu) * 的字段为(wèi)必填
*
激光加工(gōng)类型（多(duō)选）
*
材料类型（多(duō)选）
验证码
标有(yǒu) * 的字段为(wèi)必填，收到后我们将在2个工(gōng)作(zuò)日与您联系